2024年5月12日，御微首臺掩模基板缺陷檢測產品Halo-100在御微合肥成功發運，并順利交付國內先進掩模廠。

御微半導體自主研發的Halo-100設備作為御微“掩模全生命周期質量控制”產品線的第二款產品，憑借御微多年來在掩模檢測領域積累的豐富經驗和技術儲備，以高精度光學系統、高穩定性運動臺系統以及高潔凈度環控與傳輸系統為基礎，結合御微專有的算法和軟件系統，成功實現了針對掩?；?blank)缺陷檢測的需求，并將掩模檢測的應用領域拓展至掩模廠來料檢和掩?；鍙S全制程控制檢。

御微半導體Halo-100掩?；迦毕輽z測產品

在掩模廠中，Halo-100設備可應用于來料檢，在掩模版曝光前進行缺陷檢測，從而有效避免對曝光機腔體內部造成污染，同時防止帶污染物的掩模版經過曝光后繼續流向后續工序，減少客戶良率損失。此外，該設備還可作為曝光機等生產設備particle monitor的檢測標尺，定期監測生產設備內部潔凈度。另外，Halo-100設備搭載的自動開盒/自動倒板模塊，極大減少因人工干預而帶來的二次污染，確保掩模板從光罩盒到曝光機全程零污染。

在掩模基板廠中，Halo-100設備可以運用在玻璃基板來料檢、多層鍍膜過程檢和成品出貨檢等環節，助力客戶在每個制程節點監測潔凈度情況。

Halo-100的推出，進一步完善了御微在“掩模全生命周期質量控制”產品線的布局，與i6R和Raptor兩款產品形成了一站式掩模零缺陷檢測監管和質量控制閉環。未來，御微將持續加大研發投入，精準把握客戶需求，不斷推出滿足客戶需求的新產品，填補國內相關半導體設備領域的空白，為廣大客戶創造更多價值。