2024年5月12日，御微首臺掩模基板缺陷檢測產品Halo-100在御微合肥成功發運，并順利交付國內先進掩模廠。

御微半導體自主研發的Halo-100設備作為御微“掩模全生命周期質量控制”產品線的第二款產品，憑借御微多年來在掩模檢測領域積累的豐富經驗和技術儲備，以高精度光學系統、高穩定性運動臺系統以及高潔凈度環控與傳輸系統為基礎，結合御微專有的算法和軟件系統，成功實現了針對掩模基板(blank)缺陷檢測的需求，并將掩模檢測的應用領域拓展至掩模廠來料檢和掩模基板廠全制程控制檢。

御微半導體Halo-100掩模基板缺陷檢測產品

在掩模廠中，Halo-100設備可應用于來料檢，在掩模版曝光前進行缺陷檢測，從而有效避免對曝光機腔體內部造成污染，同時防止帶污染物的掩模版經過曝光后繼續流向后續工序，減少客戶良率損失。此外，該設備還可作為曝光機等生產設備particle monitor的檢測標尺，定期監測生產設備內部潔凈度。另外，Halo-100設備搭載的自動開盒/自動倒板模塊，極大減少因人工干預而帶來的二次污染，確保掩模板從光罩盒到曝光機全程零污染。

在掩模基板廠中，Halo-100設備可以運用在玻璃基板來料檢、多層鍍膜過程檢和成品出貨檢等環節，助力客戶在每個制程節點監測潔凈度情況。

Halo-100的推出，進一步完善了御微在“掩模全生命周期質量控制”產品線的布局，與i6R和Raptor兩款產品形成了一站式掩模零缺陷檢測監管和質量控制閉環。未來，御微將持續加大研發投入，精準把握客戶需求，不斷推出滿足客戶需求的新產品，填補國內相關半導體設備領域的空白，為廣大客戶創造更多價值。